气体供应模块
产品特点：
高精密除杂质可排水过滤器
耐高压安全截止阀
完善的保温处理
进气温度精确控制
可编程流量计对气体流量进行监控
高精密除杂质可排水过滤器
耐高压安全截止阀
完善的保温处理
进气温度精确控制
可编程流量计对气体流量进行监控
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| 部分参数
流量范围 0 -5.0g/s 氮气吹扫 手动或自动 氮气流量 0-500SLPM 压力调节 上游1.5-3.0MPag，下游0-1.6MPag 温度控制范围 -50℃至110℃ 温度控制精度 ±1.5℃
